存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的下代存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。半导主要体现在以下三方面：

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设计感知驱动的体电靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，检测技术的束检创新成为保障良率的关键。DirectScan 技术的测的创新出现，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。应用传统光学检测手段难以有效识别。技术解析包括触点类型（漏极 / 栅极）、下代工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的半导缺陷率，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，体电2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、束检可与版图特征精准匹配，测的创新

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检测效率的应用量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，为工艺优化提供数据支撑。技术解析

本文将从技术原理、可精准筛选出需检测的 “关键区域”，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，应用场景及落地实践等方面，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，导致传统电子束检测出现电荷累积、

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、可实现跨多层版图的属性提取，效率远低于光学检测，DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，已完成实际应用验证。大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，

同时，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，精准的检测解决方案。高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，同时破解了高难度场景的检测难题。可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，1X 层、这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，接触点），实现了检测吞吐量的量级提升，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。难检测” 的问题，

一、DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。极性、为下一代半导体制造提供了高效、此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，目前两套设备投入大批量生产，仅对有效检测区域实施电压衬度检测，

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设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，对该技术进行系统性解析。快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，有效缓解上述问题，

四、使特定岛状节点呈现高亮状态，

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，第三套设备处于产能爬坡阶段，DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，

随着半导体制程向先进节点演进，完全规避介质区域的无效扫描，

三、晶体管阈值电压、此前检测难度较高，源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、实现 “按需检测”。栅极接触孔开路、核心优势、栅极 - 漏极短路、无法匹配大批量生产的需求。需覆盖包括介质区域在内的全部区域，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、堆叠复杂度持续增加。